不锈钢真空泵取决于工作温度和所使用的工作液种类。当泵不带气蚀保护时，吸气压力不得低于80mbar（在水温15℃，所抽除干空气温度在20℃时，为避免在泵内引起气蚀），温度越高，取决于工作饱和蒸汽压力，所允许的较低吸气压力也会越高；泵连续运转时可抽气真空，但温度越高吸气能力越低，长时间运转在低于较低允许吸气压力下会引起泵的损坏。
　　1.准备工作
　　准备合适的工具，如扳手、扁口钳、十字螺丝刀和平口螺丝刀等工具，还可准备橡胶手套、眼镜、口罩、瓶子和干净的布等辅助物品，确认不锈钢真空泵处于停止运行且压力已经释放的状态，避免拆卸时发生危险。
　　2.初步检查与定位
　　确定单向阀在不锈钢真空泵上的位置，如果不易确认，可以观察管道上是否有结霜的位置（因单向阀高出管道一部分，保温层薄从而结霜），或者用螺丝刀插入保温层的不同位置试探，浅的地方为单向阀。
　　3.拆卸相关连接件
　　若是有连接气管或连接杆件，先将其拆卸下来。对于连接气管，可能需要松开卡箍或者拆卸连接螺母；对于连接杆件，可能要用扳手拧下连接螺栓等。如有必要，拆除周围可能妨碍单向阀拆卸的部件，例如可能需要拆卸进气管道（如果单向阀在进气管道附近），使用不锈钢真空泵扳手或其他工具拆下进气管道上的螺钉，将管道拆下，同时注意不要损坏进气管道。
　　4.拆卸单向阀本身
　　如果单向阀有压盖，且是用螺栓固定的，操作人员要穿好工作服及防护手套、防护面罩后，松动阀芯压盖上的所有螺栓。用吹扫枪吹扫单向阀上的结霜（如果有），用铜质工具或木棒轻轻敲击压盖；不锈钢真空泵有一端没放空的阀盖会突然顶开并喷出液态物质时要注意安全；对角保留2个螺栓松至剩余5扣丝状态，除掉另外的螺栓，握住阀盖轻轻松动至较大状态，再次确认阀体内无残液或高压气体后，除掉保留的螺栓，取下阀芯。

　　如果有专用的单向阀拆卸工具，可按照工具的使用方法进行拆卸。例如从工具袋取出单向阀拆解专用工具，从单向阀的一端开始拆解；拆解外侧两端的盖子时，将专用工具插入盖子上面的两个孔内，将阀放在油泵的一端，用手按住专用工具，然后用活动扳手慢慢敲打。操作过程中要不锈钢真空泵小心谨慎，防止零件丢失、变形或者损坏。如果发现零件变形或损坏，需要及时更换，在拆卸有压力或者可能残留介质的单向阀时，要确保安全操作，防止介质喷出伤人。